氧化铝陶瓷涂层绝缘性能影响因素

氧化铝具有优良的绝缘和阻氚性能,是ITER候选功能材料之一。北京耐默公司采用射频磁控溅射法在金属基底上制备了氧化铝陶瓷涂层。

分别采用掠人射X射线衍射、Raman激光光.谱和原子力显微镜对氧化铝陶瓷涂层的结构和表面形貌进行了表征;测量了氧化铝陶瓷涂层体电阻率;研究了氧化铝陶瓷涂层样品的吸氢特性。

结果表明:氧氩比为0.1和0.5下制备的氧化铝陶瓷涂层为非晶结构，氧氩比为0.4下制备的涂层中出现了结晶程度较差的氧化铝δ相结构;氧氩比为0.1和0.4下制备的涂层粗糙度和粒径均小于氧氩比为0.5下制备的涂层;不同氧氩比下制备的氧化铝涂层体电阻率均超过2. 7X10l4 n. cm,氧氩比为0.4下制备的涂层电阻率最高,达到2.1X1015 n. cm;氧氩比为0.5下制备的涂层样品具有最低的吸氢量。氧氩比对陶瓷涂层的电绝缘特性和吸氢特性有显著影响。